Edwards nEXT300D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù),上軸承為永久性磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計,使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程,最終提高抽速和壓縮比,同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無傳感器電機(jī),內(nèi)置驅(qū)動,與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種zui大預(yù)設(shè)功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氬氣,但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
性能特點:
最新的轉(zhuǎn)子設(shè)計,可以實現(xiàn)卓越的抽速和壓縮比
維護(hù)簡便,用戶可以在短時間內(nèi)完成維護(hù),無需復(fù)雜的工具或拆卸
設(shè)計緊湊,性能卓越,可以實現(xiàn)高效系統(tǒng)化
與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容,可加3個真空規(guī),而無需額外控制器
符合RoHS,并通過CSA/UL認(rèn)可
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