愛德華真空真空泵, EXT75DX分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,采用成熟的軸承技術(shù),上軸承為性磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并采用Holweck拖曳分級技術(shù),可以DC 24V直接驅(qū)動,或使用TAG和 TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法蘭有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可選。
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