?STP-iXA 2206SBV系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的性能,可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)(成熟的STP-iXA2205系列的新技術(shù))。該泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不帶其電源供給(iPS-1200))的高度。這一完全集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。?
用途?
·?金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)?
·?電子回旋共振(ECR)刻蝕?
·?薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD?
·?濺射?
·?離子注入源,射束線泵送和站?
功能與優(yōu)勢(shì)?
·?緊湊型設(shè)計(jì),包括完全集成的控制器?
·?創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)?
·?數(shù)字化5軸控制?
·?與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了50%?
·?可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程?
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