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? ? ? Alcab ATH400M法國阿爾卡特磁懸浮分子泵維修，Alcab ATH400M阿爾卡特分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100 ISO-K，出氣法蘭口DN40 ISO-KF，抽速可達(dá)到320 L/s，極限壓力8x10-9 mbar,轉(zhuǎn)速為39000rpm，阿爾卡特 ATH400MT磁懸浮分子泵保養(yǎng)對應(yīng)的控制器為：Alcab ACT 600M
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