EDWARDS的nXDS干式渦旋泵具備出色的抽氣能力、極限真空性能和先進的設計特性，性能居同類產(chǎn)品之首。nXDS泵在其他渦旋泵的基礎上進行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸氣(包括水、溶劑、稀酸和堿)進行抽真空。nXDS泵還采用了優(yōu)化的端面密封技術，顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。

特色與優(yōu)勢：

溫控風扇

可以在低負載條件下降低風扇轉速，從而使噪聲降至僅52 dB(A)。

軸承罩

可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，

并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。

變頻器驅動

全球范圍內泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動電壓調整特性，從而有助于打造卓越的用戶體驗。

優(yōu)化渦盤設計轉速提高， 極限真空比上一代提高一個數(shù)量級，極限壓力低至7 x 10-3 mbar。

優(yōu)化端面密封技術

使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應用而言，典型的端面密封條使用壽命達到2年以上。

高流量氣鎮(zhèn)特性

高達220 gh-1的速度抽取蒸氣(包括水蒸氣)。