HiPace 80用于分子束外延 MBE, 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng)，用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備，用于自主搭建真空腔體

Pfeiffer HiPace 80 抽速可達(dá)到 71 l/s 高性能渦輪分子泵.  對(duì)所有氣體的高抽速和極高壓縮比，防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求，并且可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝

HiPace 80分子泵應(yīng)用
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造