概述

nEXT400D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口，對(duì)N₂的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤(rùn)滑陶瓷軸承，并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無(wú)傳感器電機(jī)，內(nèi)置驅(qū)動(dòng)，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最da預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長(zhǎng)。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級(jí)泵組成。