渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
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