HiPace 80用于分子束外延 MBE, 主要針對金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長,用于SPECS 近常壓光電子能譜儀設(shè)備,用于自主搭建真空腔體
Pfeiffer HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵。 對所有氣體的高抽速和極高壓縮比,防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求,并且可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
HiPace 80分子泵應(yīng)用
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業(yè): 醫(yī)學技術(shù), 工業(yè)檢漏, 隔離真空, 燈管制造
聯(lián)系人:鄒濤 手機:13728080527
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