Agilent TV-301 Tubro泵有四種不同型號,僅高真空法蘭有所不同。V301渦輪泵由高頻電動機(jī)組成,該電動機(jī)驅(qū)動裝有8個葉片級和3個Macrotorr級的渦輪機(jī)。從高真空法蘭端看時,渦輪沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。該渦輪機(jī)由高強(qiáng)度鋁合金制成,并由一個整體加工而成。Macrotorr階段為四個光盤的形式。
渦輪轉(zhuǎn)子由永久潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精確定位。Macrotorr定子采用自定位的機(jī)加工盤形式,具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
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