Agilent TV-301 Tubro泵有四種不同型號(hào),僅高真空法蘭有所不同。V301渦輪泵由高頻電動(dòng)機(jī)組成,該電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝有8個(gè)葉片級(jí)和3個(gè)Macrotorr級(jí)的渦輪機(jī)。從高真空法蘭端看時(shí),渦輪沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。該渦輪機(jī)由高強(qiáng)度鋁合金制成,并由一個(gè)整體加工而成。Macrotorr階段為四個(gè)光盤的形式。
渦輪轉(zhuǎn)子由永久潤(rùn)滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精確定位。Macrotorr定子采用自定位的機(jī)加工盤形式,具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開(kāi)口。這些由鋁合金制成。
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