Leybold最早將陶瓷軸承應(yīng)用于分子泵,其rotor設(shè)計(jì)充分考慮到加工的應(yīng)力,轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片和定子之間只有0.1毫米。制造公差達(dá)到微米級(jí)。在轉(zhuǎn)速高達(dá)每分鐘7.2萬(wàn)轉(zhuǎn)時(shí),葉片端部的速度接近超音速。
Leybold TW70LS德國(guó)萊寶真空分子泵, Oerlikon TW70LS渦輪分子泵的進(jìn)氣法蘭口DN63,抽速可達(dá)到66l/s 轉(zhuǎn)速為72000rpm, Oerlikon Leybold TW70LS專門用于Leybold 氦質(zhì)譜檢漏儀。
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