STP-XA4503C 愛(ài)德華磁懸浮渦輪分子泵此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。 STP-XA4503C 愛(ài)德華磁懸浮渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對(duì)氣體都具有更高的吞吐量。
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