Edwards nEXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù),上軸承為永久性磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進轉(zhuǎn)子設(shè)計,使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程,最終提高抽速和壓縮比,同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機,內(nèi)置驅(qū)動,與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種zui大預(yù)設(shè)功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氬氣,但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。
基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。
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