Shimadzu TMP-803M島津磁懸浮分子泵維修,Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 日本島津磁懸浮渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統(tǒng),無需使用油潤滑,在運(yùn)轉(zhuǎn)過程當(dāng)中,無任何摩擦,是真正做到完全無油、免維護(hù)、全方位安裝的渦輪分子泵,Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC 分子泵進(jìn)氣法蘭口VG150/ICF203/ISO160B,出氣法蘭口KF40,抽速可達(dá)到800 L/s,轉(zhuǎn)速為35000 rpm, 極限壓力1 x 10-11 Torr(1.3 x 10-11 mbar),Shimadzu TMP-803LM島津磁懸浮分子泵對(duì)應(yīng)的控制器為:Shimadzu EI-D1003M