Edwards EXT75DX英國愛德華分子泵維修，Edwards EXT75DX/EXT75iDX愛德華渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63ISO-K/DN63CF/DN40NW/DN100ISO-K，出氣法蘭口DN16，抽速可達(dá)到65 L/s，轉(zhuǎn)速為90000 rpm，對應(yīng)的控制器為： Edwards TIC100
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