廣州潽拓光電科技有限公司維修Varian瓦里安 Turbo-V1K-G渦輪分子泵,varian Turbo-V1K-G瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160,出氣法蘭口KF25,抽速可達到750 L/s,轉(zhuǎn)速為45500rpm,極限壓力 <1X10-10 mbar,對應(yīng)的控制器為:varian Turbo-V 1KG。
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