Varian Turbo-V801瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO160-F,出氣法蘭口KF25,分別抽速可達到680 L/s ,轉(zhuǎn)速為38000rpm,對應(yīng)的控制器為:Varian Turbo-V801,瓦里安Turbo-V801分子泵驅(qū)動器輸入電壓100-240VAC,頻率50-60HZ,功率600VA.瓦里安Turbo-V801分子泵維修Varian 復(fù)合渦輪泵保養(yǎng)
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