Edwards STPA1603C英國愛德華磁懸浮分子泵維修，Edwards STPA1603C愛德華磁懸浮分子泵進氣法蘭口ISO200F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到1600 L/s，轉速為36500 rpm，極限壓力10-7Pa，愛德華STPA1603C磁懸浮分子泵對應的控制器為：Edwards SCU-750
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