普發(fā)pfeiffer TMH261渦輪泵加上TC 600控制器,形成一個完整的單元。這個系統(tǒng)需要空氣冷卻或水冷卻。TMH 261采用無磨損的永磁軸承在高真空側(cè)和油潤滑的陶瓷球軸承在真空側(cè)。TMH 261只能用于產(chǎn)生真空。如果過程產(chǎn)生灰塵,必須zhi定相應(yīng)的維護間隔,如果用超過50%的允許氣體負荷操作泵,必須使用密封氣體。
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