Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303LMC 分子泵進氣法蘭口VG200/ICF253/ISO200B ，出氣法蘭口KF40，抽速可達到1300 L/s，轉(zhuǎn)速為30300rpm，極限壓力 10-8 pa,TMP-1303MC島津磁懸浮分子泵對應(yīng)的控制器為：Shimadzu EI-D1303M

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