新的緊湊型 EDWARDS EPX180高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于7x10-5Torr的極限壓力。EPX泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統清潔,不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中
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