Ulvac UTM-3303FHA采用五軸磁浮軸承和數(shù)字控制的復(fù)合翼型渦輪分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用數(shù)字控制五軸磁浮軸承，實(shí)現(xiàn)了***、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。FH系列是高背壓·高壓縮型，提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝，F(xiàn)W系列是廣域·大流量型，用于高負(fù)荷工藝和中間·硬工藝。
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