Varian TV 301 Navigator渦輪增壓泵不含污染物,因此適用于需要“干凈”真空的應(yīng)用。它配備有輔助連接器,以提供一個(gè)額外的風(fēng)扇,以控制排氣閥,該風(fēng)扇通過(guò)通過(guò)串行線(RS232或RS485)連接的主機(jī)從遠(yuǎn)程站點(diǎn)進(jìn)行控制。
varian Turbo-V 301 Navigator 分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的專用泵。
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