廣州潽拓光電維修德國(guó)Pfeiffer普發(fā)全系列分子泵，Pfeiffer Splitflow 80抽速可達(dá)到60 L/s，轉(zhuǎn)速為90000rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為： Pfeiffer TC110。
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