ShimadzuTMP-3203LM/TMP-3203LMC分子泵進氣法蘭口ISO320-F，出氣法蘭口KF40，抽速可達到3200L/s，轉(zhuǎn)速為21000rpm，極限壓力1x10-9Torr(1.3x10-9mbar)，島津TMP-3203LMC磁懸浮分子泵對應(yīng)的控制器為：ShimadzuEI-3203MD，ShimadzuEI-R04M等
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