Varian Turbo-V902瓦里安渦輪分子泵維修,Varian Turbo-V902瓦里安渦輪分子泵進氣法蘭口ISO100,出氣法蘭口KF25,抽速可達到680 L/s,轉(zhuǎn)速為38000rpm,對應(yīng)的控制器為:Varian Turbo-V902
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