Pfeiffer 普發(fā)TMH521P分子泵維修,Pfeiffer TMH521P普發(fā)渦輪分子泵進氣法蘭口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F,出氣法蘭口 DN 25 ISO-KF,DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可達到290 L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可達到510 L/s,833HZ轉速為50000 rpm,550HZ轉速為33000 rpm,極限真空5X10-10 mbar,對應的控制器為:Pfeiffer TC600等
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