Varian Turbo-V801瓦里安渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160-F,出氣法蘭口KF25,分別抽速可達(dá)到680 L/s ，轉(zhuǎn)速為38000rpm，對(duì)應(yīng)的控制器為：Varian Turbo-V801,瓦里安Turbo-V801分子泵驅(qū)動(dòng)器輸入電壓100-240VAC,頻率50-60HZ,功率600VA.
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