Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵維修,Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口CFF4/ISO63,出氣法蘭口KF16,抽速可達(dá)到77 L/s ,轉(zhuǎn)速為80000rpm,極限壓力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr),Agilent Turbo-V81-M對應(yīng)的控制器為:Agilent Turbo-V81-AG
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