Varian TASK-V70LP pump system緊湊型分子泵系統(tǒng)是由瓦里安Turbo-V70LP渦輪分子泵和SD40前級(jí)真空泵組成,進(jìn)氣法蘭口DN40 ISO-K/DN40 CF-F/DN63 ISO-K/DN63 CF-F,抽速可達(dá)到45 L/s-68 L/s,真空度1X10-9 mbar.瓦里安TV70LP高速渦輪泵保養(yǎng), Varian Turbo Pumping Systems分子泵機(jī)組維修
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