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德國pfeiffer普發(fā) TMH261渦輪泵加上TC 600控制器，形成一個(gè)完整的單元。這個(gè)系統(tǒng)需要空氣冷卻或水冷卻。TMH 261采用無磨損的永磁軸承在高真空側(cè)和油潤滑的陶瓷球軸承在真空側(cè)。TMH 261只能用于產(chǎn)生真空。如果過程產(chǎn)生灰塵，必須*定相應(yīng)的維護(hù)間隔,如果用超過50%的允許氣體負(fù)荷操作泵，必須使用密封氣體
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