Pfeiffer 普發(fā)TMH521P分子泵維修,Pfeiffer TMH521P普發(fā)渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F，出氣法蘭口 DN 25 ISO-KF，DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可達(dá)到290 L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可達(dá)到510 L/s，833HZ轉(zhuǎn)速為50000 rpm，550HZ轉(zhuǎn)速為33000 rpm，極限真空5X10-10 mbar,對(duì)應(yīng)的控制器為：Pfeiffer  TC600等。